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半导体芯片管脚三维几何尺寸的在线精密视觉测量方法及系统

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  • Disigner of the Invention:路绳方,张健, 何睿清, 焦良葆, 陈烨, 高阳, 曹雪虹, 史金飞

  • Type of Patent:Invent

  • State of Patent:Authorized patents

  • Authorization number:ZL202011037463.7

  • Service Invention or Not:no

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